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导电滑环在单晶炉设备中的作用

时间:2015-10-23 来源:
      本技术涉及一种用于真空设备中籽晶杆传动机构的水电连接机构。目前,公知的单晶炉设备的籽晶杆传动机构中自转的水、电的连接结构较笨重,大多是利用轴承、橡胶圈、压盖等部件来实现轴水冷的密封,不仅轴密封不可靠,且结构变得庞大,在安装、维修时也较不方便。

  奔联电子针对上述存在的技术问题,为了解决籽晶杆传动机构在水、电方面安装、维修不方便等问题,提供一种水电连接机构,它整体部局合理、紧凑,操作方便。为了实现上述目的,技术方案如下本发明包括旋转接头、连接板、固定架、水管及导电滑环,所述导电滑环套装于籽晶轴上,旋转接头置于导电滑环上方,且其内环固定在籽晶轴上,旋转接头和导电滑环的外环分别通过连接板固定在固定架上,在旋转接头和籽晶轴内孔内置有水管,旋转接头上的进水口与进水管连接,出水口与出水管连接。本技术的有益效果是采用贯穿于旋转接头和籽晶轴的水管,实现籽晶轴的冷却。采用内环转外环不转的旋转接头及导电滑环,实现了籽晶轴自转时电、水的连接,使水管和电缆线安装、维修方便。